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首页 >>> 产品目录 >>> tescom减压阀,备压阀,电子压力调节器
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产品[美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件]资料
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如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件
产品型号:
美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件
产品展商:
其他品牌
简单介绍
美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件
TESCOM高纯产品一览
TESCOM 的集成系统部件共有５个系列。
1、1/4"节点压力调节阀
2、1/2"节点压力调节阀 集成气体系统部件
IGS减压调节阀（符合SEMI Doc.PR3.1&PR3.3-0699要求）
产品系列
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美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件的详细介绍 |
美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件
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美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件
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TESCOM 的集成系统部件共有５个系列。 |
| 1、1/4"节点压力调节阀 |
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| 2、1/2"节点压力调节阀 |
| 集成气体系统部件 |
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IGS减压调节阀（符合SEMI Doc.PR3.1&PR3.3-0699要求） |
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产品系列及特性
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输入压力
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输出压力
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允许内泄漏*
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流量范围
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阀体材料
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 12系列袖珍型IGS调节阀 |
12单级，超高纯度，袖珍型系列 |
| ·1-1/2"、1-1/8"底座 |
150PSIG
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28"Hg-15,30,
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<1×10-9
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30或120
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316L不锈钢 |
| ·5Ra或10Ra微英寸抛光 |
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60,100PSIG
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SLPM
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VAR |
| ·电解抛光或精密电解抛光 |
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| ·固定隔板设计 |
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| ·内部无弹簧、无螺纹 |
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| ·12F系列带一体式滤清器 |
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 14-11系列手动IGS阀 |
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12单级，超高纯度，袖珍型 |
| ·自由阀芯设计 |
150PSIG
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28"Hg-15,30,
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<1×10-9
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30SLPM
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316L不锈钢 |
| ·5Ra或10Ra微英寸抛光 |
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60,100PSIG
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VAR |
| ·内部无螺纹 |
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| ·电解抛光或精密电解抛光 |
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 14系列气动IGS阀 |
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IGS隔板阀（符合SEMI Doc.PR3.1&PR3.3-0699要求） |
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产品系列及特性
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输入压力
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允许内泄漏*
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Cv
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阀体材料
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| 14系列，手动 |
| ·14-11 1/4圆型旋钮 |
250PSIG
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<1×10-9
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.35
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319L不锈钢VAR |
| 14系列，手动 |
| ·14-13 1/4圆型旋钮，LOTO |
125PSIG
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<1×10-9
|
.35
|
319L不锈钢VAR |
| 14系列，气动 |
| ·14-21正常关闭 |
125PSIG
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<1×10-9
|
.35
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319L不锈钢VAR |
| ·14-31正常关闭 |
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*单位为大气压·毫升/秒氦气 |
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