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产品[住友直立型臭氧发生仪]资料
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如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
住友直立型臭氧发生仪
产品型号:
GRC Series
产品展商:
其它品牌
简单介绍
住友直立型臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友直立型臭氧发生仪
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住友直立型臭氧发生仪的详细介绍 |
住友直立型臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友直立型臭氧发生仪
住友直立型臭氧发生仪应用：
1. 半导体器件
2. Si/复合晶圆
3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
4. 光罩
5. 发光二极管
住友直立型臭氧发生仪特征：
高浓度；高达400g/m3（N）
19英寸机架尺寸标准型号
丰富的产品线；小容量到大容量
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
管道材料；从316LSS或PFA中选择
具体规格
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臭氧气体流速
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1L/min to 24L/min
[at 210g/m3(N)]
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臭氧气体供应压力
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*大0.2MPa
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冷却水温度
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氮掺杂比
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0.1%(volume)against oxygen
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尺寸
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W483mm x D453mm x H266mm
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重量
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30 到 45kg
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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