住友臭氧发生仪
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧发生仪
住友臭氧发生仪应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
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溶解臭氧浓度
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5 to 150ppm
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臭氧化超纯水流量
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1 to 90L/min
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原料气
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氧、氮、二氧化碳
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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住友臭氧发生仪优势
臭氧溶解单元的安装使其能够在管道输送过程中防止臭氧溶解浓度的下降。
Contribute to reduction of foot print.（One ozone generator supplies ozone gas to multi dissolution units.）
高浓度，大流速
低运行成本（低功耗，小部分消耗，长寿命周期放电细胞）
高压耐受长寿周期放电细胞
稳定浓度（闭环控制）
关闭时维护自由
无臭氧水
