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产品[住友臭氧超纯水装置]资料
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如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
住友臭氧超纯水装置
产品型号:
SGX-1G215NC
产品展商:
其它品牌
简单介绍
住友臭氧超纯水装置
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧超纯水装置
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住友臭氧超纯水装置的详细介绍 |
住友臭氧超纯水装置
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧超纯水装置
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
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臭氧气体流速
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5 to 150ppm
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臭氧气体供应压力
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*大0.25MPa
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臭氧化超纯水流量
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1 to 90L/min
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原料气
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氧、氮、二氧化碳
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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优势：
浓度高，流量大
占地面积小，紧凑
运行成本低（功耗低，易损件数量少，放电单元寿命长）
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
CE、NRTL、半标准适用
关闭期间免维护
无氮臭氧水
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