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产品[住友臭氧水装置]资料
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如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
住友臭氧水装置
产品型号:
SG-HE Series
产品展商:
其它品牌
简单介绍
住友臭氧水装置
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧水装置
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住友臭氧水装置的详细介绍 |
住友臭氧水装置
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
住友臭氧水装置
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
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臭氧气体流速
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300g/㎥(N)
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臭氧气体供应压力
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140L/min、175L/min、210L/min（200g/㎥(N))
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冷却水温度
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尺寸
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W700×D900×H2,154 (140L/min)
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冷却水流速比
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>48L/min
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功率
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AC200V 3-phase
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优势：
高流量；高达210 l/min
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
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